半導体ウェハ輸送

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半導体ウェハ輸送

顧客のニーズ

モバイルマニピュレーター(MOMA)は、近い将来のロボット開発における最も重要なトレンドの一つです。協働ロボットに脚を取り付け、容易かつ自由に、そして迅速に移動させるようなものです。TM協働ロボットは、国際特許技術であるランドマークと内蔵ビジョンにより、ロボットを正確な方向へ誘導し、その後の全ての動作に必要な位置へ移動させることができるため、モバイルマニピュレーターとして最適な選択肢です。これにより、ビジョンの研究開発にかかる時間と費用を大幅に削減できます。
MOMAは非常に迅速で、作業室や場所に限定されない。同時​​に、コボット、センサー、レーザーレーダー、事前設定されたルート、能動的な障害物回避、最適化されたアルゴリズムなどを通じて、同じ部屋で作業している人間と安全に対話する。MOMAは、異なるワークステーションでの輸送、積み込み、積み下ろしのタスクを驚くほど速く完了する。

TMモバイルマニピュレーターの利点

1. 素早くセットアップでき、多くのスペースを必要としません

2.レーザーレーダーと最適化されたアルゴリズムでルートを自動計画

3. 人間とロボットの協働

4. 将来のニーズに柔軟に対応できるプログラミングが容易

5. 無人技術、オンボードバッテリー

6. 自動充電ステーションによる24時間無人運転

7. ロボットの異なるEOAT間の切り替えを実現

8. 協働ロボットのアームにビジョンが組み込まれているため、協働ロボットのビジョンをセットアップするために余分な時間と費用をかける必要はありません。

9. 内蔵ビジョンとランドマーク技術(TMコボットの特許)により、正確な方向と動きを実現します。

ソリューションの特徴

(半導体ウェハ搬送における協働ロボットのメリット)

高精度

協働ロボットは、ウエハーの取り扱いにおいてサブミクロンの精度を実現し、エラーを削減し、品質の安定性を向上させます。

効率的な自動化

ダウンタイムを最小限に抑えながら 24 時間 365 日稼働し、設備の利用率と生産効率を高めます。

柔軟性

コボットは、エンドエフェクタを変更して再プログラミングすることで、さまざまなウェーハサイズやタスクに適応できます。

安全性と清潔さ

クリーンルームに適合するように設計されたコボットは、高い清浄度基準を維持し、汚染リスクを軽減します。

費用対効果

その間労働コストを削減し、コボットは欠陥や手直しを最小限に抑え、全体的な生産効率を向上させます。cy。

機動性と汎用性

携帯協働ロボットはワークステーション間を移動し、複数のタスクを処理できるため、運用の柔軟性が向上します。

リアルタイム監視

センサーとビジョン システムを搭載したコボットは、リアルタイムのフィードバックを提供し、プロセスを動的に最適化します。

人間の介入の削減

協働ロボットはウェハの輸送を自動化し、人間との接触と汚染を最小限に抑えます。

関連製品

      • 最大積載量: 16kg
      • リーチ: 900mm
      • 標準速度: 1.1m/s
      • 最高速度: 4m/s
      • 再現性: ± 0.1mm
      • 最大積載量:1000kg
      • バッテリー寿命:6時間
      • 位置決め精度: ±5、±0.5mm
      • 回転直径:1344mm
      • 走行速度: ≤1.67m/s
        • 把持力:3~5.5N
        • 推奨ワーク重量: 0.05kg
        • ストローク:5mm
        • 開閉時間: 0.03秒
        • IPクラス: IP40